特許

J-GLOBAL ID：200903047759419679

サイクロトロン共鳴機能を備えたイオン源

発明者： ブリアン ポール
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279805
公開番号（公開出願番号）：特開平5-089792
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 中性原子から多量の高荷電イオンを生成することを可能にする分極性探針を備えたECRイオン源を提供することである。【構成】 本発明に関わるイオン源は、ひとつの高周波キャビティ(2)と、該キャビティの軸方向に磁場を生成する為の手段(14)と、このキャビティ内で多極放射状磁場を生成する為の手段(16)と、高周波電磁場を生成するようにキャビティ内に通じているひとつの高周波入口(4)と、ガスをキャビティ内に導入する為のパイプ(6)と、キャビティの先端5でイオンを抽出する為の手段(10)と、ガスのイオン化を促進する為に電圧を分極化することが可能な探針(20)と、探針に電圧を供給する手段(8)と、からなる。

請求項（抜粋）：

対称軸を有する高周波キャビティ(空胴)と、高周波電磁波を前記キャビティに注入する高周波入口と、ガスを前記キャビティに注入するパイプと、前記キャビティの軸方向に磁場を生成する為の手段と、前記キャビティ内に多極放射状磁場を生成し、前記軸方向の磁場と該放射状の磁場を重ねることによってキャビティじゅうに分布する合成磁場を形成し、キャビティ内で完全に閉じた少なくともひとつの等磁性面を定義する為の手段と、前記キャビティの先端でイオンを抽出する為の手段と、ガスのイオン化を増大し抽出されたイオンの流れを増大する為に、前記抽出手段の上流側(ガス注入口側)に前記等磁性面と接触せずに配置された分極性探針と、前記探針に電圧を与える為の手段と、を設けたことを特徴とするサイクロトロン共鳴機能を備えたイオン源。

IPC (2件)：

H01J 27/16 ,  H01J 37/08