特許
J-GLOBAL ID：200903047761400500
荷電粒子等の多段加速管
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316782
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162983
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【構成】多段加速管3を絶縁筒15によって高電圧部(電子銃4)を固定した多段加速管。【効果】多段加速管の高電圧部を絶縁筒で固定することにより、電子銃の位置変動をおさえることができるので、さらに、地面(床)からの振動による影響を防ぐことができるので分解能を悪化させる要因を排除することが可能となる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子等の多段加速管において、その高電圧部を絶縁筒で固定したことを特徴とする荷電粒子等の多段加速管。
IPC (3件)：
H01J 37/16
, H01J 37/06
, H01J 37/26
