薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤島洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163676
公開番号（公開出願番号）：特開平11-353616
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 2分割された上部磁極のうち、磁極先端部だけでなく、上部磁極層のサブミクロン寸法の極微細加工を可能とする。【解決手段】上部磁極を、磁極先端部20と上部磁極層25とに2分割し、磁極先端部20を下部磁極18上の平坦面に記録ギャップ層19を介して形成する。これにより、記録トラック幅を規制する磁極先端部20がサブミクロン寸法に加工される。磁極先端部20に隣接した領域に絶縁層21aが形成されている。この絶縁層21aが形成された領域内に1層目の薄膜コイル22が形成されている。薄膜コイル22は表面が平坦化された絶縁層21bにより覆われている。これにより薄膜コイル23を含むエイペックス部の段差が、薄膜コイル22の分だけ、従来構造に比べて低くなる。従って、上部磁極層25をフォトリソグラフィーにより形成する際に、エイペックス部の段差の影響が低減され、その結果、上部磁極層25のサブミクロン寸法の微細化も可能となる。

請求項（抜粋）：

磁気的に連結され、且つ記録媒体に対向する側の一部が記録ギャップ層を介して対向する第1の磁極および第2の磁極を含む少なくとも2つの磁性層と、磁束を発生させるための1層あるいは2層以上の薄膜コイルとを有する薄膜磁気ヘッドであって、前記第1の磁極を含む第1の磁性層と、前記第2の磁極を構成する磁極先端部と、少なくとも、前記磁極先端部および前記記録ギャップ層の前記記録媒体に対向する側の反対面から前記第1の磁性層の一方の面に連続的に形成された第1の絶縁層と、少なくともその膜厚方向の一部が、前記第1の絶縁層が形成されている領域内に形成された少なくとも一層の薄膜コイルと、少なくとも、前記薄膜コイルの巻線間に形成された第2の絶縁層と、前記磁極先端部の前記記録ギャップ層との隣接面の反対面の少なくとも一部に接続されると共に、前記薄膜コイルの少なくとも一部を覆うように形成された第2の磁性層とを備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (2件)：

G11B 5/31 , G11B 5/39

FI (5件)：

G11B 5/31 D , G11B 5/31 C , G11B 5/31 F , G11B 5/31 K , G11B 5/39

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-119613
特開昭60-119613
特開昭60-119613

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