特許

J-GLOBAL ID：200903047785434597

ウェーハカセットのステージ装置

発明者： 示野 和弘 ,  大場 重男 ,  遠目塚 幸二 ,  紙谷 健一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102892
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294356
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 センサとウェーハの干渉を回避し、確実にウェーハの有無を検知できるようにする。【解決手段】 ステージ装置10は、多数のウェーハWを立て姿勢で平行に並べて収容する載置ステージ15と、載置ステージ15の下方に配設され、エアシリンダ21により昇降させられる昇降ベース22と、昇降ベース22に取り付けられた櫛歯状の挿入部2を持つウェーハ検知センサ1とを備える。昇降ベース22を上昇させることで、センサ1の挿入部2をカセット50に収容されたウェーハW間に挿入し、収容部毎にウェーハWの有無を検知する。昇降ベース22の昇降方向を、挿入部2の並び方向に沿う面内で鉛直より僅かに傾斜させる。昇降ベース22に突き上げ棒24を設けて、昇降ベース22の上昇に応じて水平に保持された載置ステージ15を昇降ベース22上のセンサ1と同じ向きに傾斜させる。

請求項（抜粋）：

多数のウェーハを立て姿勢で平行に並べて収容するウェーハカセットの載置ステージと、該載置ステージの下方に配設され、昇降駆動機構により昇降させられる昇降ベースと、該昇降ベースに取り付けられ、上面に櫛歯状に並んだ挿入部を持つウェーハ検知センサとを具備し、前記昇降ベースを上昇させることで、ウェーハ検知センサの挿入部をウェーハカセットの各収容部に収容されたウェーハ間に挿入し、それにより各収容部毎にウェーハの有無を検知するウェーハカセットのステージ装置において、前記昇降ベースの昇降方向を、前記挿入部の並び方向に沿う面内で鉛直より僅かに傾斜させると共に、前記昇降ベースの上昇に応じて、水平に保持された前記載置ステージを昇降ベース上のウェーハ検知センサと同じ向きに傾斜させる傾動機構を設けたことを特徴とするウェーハカセットのステージ装置。