窒化物表面の改質方法及びその方法により表面改質された窒化物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津国肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102028
公開番号（公開出願番号）：特開平10-101459
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高分子、セラミック、ITO又はガラスの表面の接触角を変化させ、接着力を増大させる窒化物表面の改質方法、及びその方法により表面改質された窒化物を提供する。【解決手段】真空状態下で反応性ガスを高分子又は窒化物表面に直接吹き込みながら、エネルギーを有するイオン粒子を高分子又は窒化物表面に照射して表面の接触角を減少させて、高分子又は窒化物表面を改質する方法及びその方法により得た窒化物に銅薄膜を成膜させて得る銅直接結合窒化アルミニウム材料。

請求項（抜粋）：

真空状態下で、反応性ガスを窒化物表面に直接吹き込みながら、エネルギーを有するイオン粒子を窒化物表面に照射して行う、窒化物表面の改質方法。

IPC (8件)：

C04B 41/80 , B01J 19/00 , C01B 21/072 , C03C 21/00 , C04B 35/581 , C04B 41/88 , C08J 7/00 306 , H01L 23/373

FI (8件)：

C04B 41/80 B , B01J 19/00 D , C01B 21/072 R , C03C 21/00 Z , C04B 41/88 Z , C08J 7/00 306 , C04B 35/58 104 Z , H01L 23/36 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-206461
特開平2-252681
特開平3-164485

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