特許
J-GLOBAL ID：200903047802028107
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-141936
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005382
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】駆動用圧電素子及び検知用圧電素子を同一面に形成することにより従来より格段に構造を簡単とすることが可能な角速度センサを提供する。【構成】回動軸心に略平行な支持主面20を有する振動板2の上記支持主面20に一乃至複数の駆動用圧電素子3及び一乃至複数の検知用圧電素子4a、4bを配設する。駆動用圧電素子3に電界を印加すれば、駆動用圧電素子3はその支持主面20と平行な方向すなわちz軸方向へ伸縮し、その結果、振動板2はy軸方向へ撓み、振動板2に角加速度が作用すると、上記撓み方向と直角方向のコリオリ力が振動板2に加えられ、振動板2に配設された検知用圧電素子4a,4bがこのコリオリ力に応じて信号電圧を発生する。
請求項（抜粋）：
回動軸心に略平行な支持主面を有する振動板と、一方の電極面が前記支持主面に固定される検知用圧電素子と、一方の電極面が前記検知用圧電素子と異なる部位にて前記支持主面に固定されるとともに電界が印加される駆動用圧電素子とを備えることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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