特許

J-GLOBAL ID：200903047806370306

観察装置、位置検出装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法

発明者： 千葉 洋
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313697
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 異なる位置のマークの検出を容易かつ高精度に行うことができる位置検出装置を有する露光装置を提供すること。【解決手段】 レチクル3に形成された転写パターンの像を感光性基板5に投影する投影光学系4と、レチクルに形成されたマークの位置を検出する位置検出装置61R,61Lとを備え、位置検出装置は、マークからの光を集光する検出光学系22R,23R1,22L,23L1と、検出光学系を介した光を光電検出する光電検出素子22Ra,22Laと、観察面における第1の位置のマークと第1の位置とは異なる第2の位置のマークとを選択的に観察するために検出光学系のフォーカス位置を不変にしながら第1の位置のマークからの光を検出光学系へ導く第1の光路と第2の位置のマークからの光を検出光学系へ導く第2の光路との何れかに切換える光路切換手段24R,24Lとを備える。

請求項（抜粋）：

被観察物体からの光を集光する検出光学系と、前記検出光学系を介した光を光電検出する光電検出素子と、前記被観察物体が設置される観察面における第1の位置と前記第1の位置とは異なる第2の位置とを選択的に観察するために、前記検出光学系のフォーカス位置を不変にしながら前記第1の位置からの光を前記検出光学系へ導く第1の光路と前記第2の位置からの光を前記検出光学系へ導く第2の光路との何れかに切換える光路切換手段とを備えたことを特徴とする観察装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R

Fターム (4件)：

5F046FA09 ,  5F046FB12 ,  5F046FB17 ,  5F046FB19