特許
J-GLOBAL ID：200903047818987252
圧電型振動センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012417
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203665
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【構成】 台座1a上に膜状圧電体1bおよび荷重体1cを積層して圧電型振動センサ1を形成する。このセンサ1を中空パッケージ3内の取り付け部4に浮かせた状態で取り付け、その下面にはセンサ1からの出力を処理するための電気回路部2を取り付ける。パッケージ3の底面外面に、ペルティエ素子5の吸熱面5aを接着剤で固着し、排熱面5bを被測定物に取り付ける。【効果】 振動センサ装置の使用環境が高温になっても、パッケージ内をペルティエ素子によって冷却することができ、圧電体の温度上昇に起因する出力の低下を低減させることができる。
請求項（抜粋）：
圧電体を用いてなる圧電型振動センサを、パッケージ内に収容してなる圧電型振動センサ装置であって、上記圧電体を冷却しうる冷却手段を具備してなることを特徴とする圧電型振動センサ装置。
IPC (2件)：
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