特許
J-GLOBAL ID：200903047824788881
磁性フィラーを含有する感光性樹脂組成物及び感光性フィルム並びにそれらを用いたパターン形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188500
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013678
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】パターン化するフィラー含有感光性樹脂組成物の皮膜が厚膜でも、また多量のフィラーを含有する場合でも、大きな光硬化深度が得られる解像性に優れた感光性樹脂組成物及び感光性フィルム、並びにパターン形成方法を提供する。【解決手段】 フィラーを含有する感光性樹脂組成物において、上記フィラーとして高アスペクト比の形状異方性の磁性フィラー2を用いる。このような磁性フィラー含有感光性樹脂組成物1を基板3に塗布し、得られた塗膜に少なくとも光照射方向に磁場を印加しながら予備硬化を行ない、前記磁性フィラーを磁場印加方向に配向させた後、所定のパターンに従って選択的に露光し、次いで現像して未露光部を除去することにより、高精細なパターンを形成できる。上記感光性樹脂組成物は、ネガ型又はポジ型のいずれの感光性樹脂組成物であってもよい。
請求項（抜粋）：
フィラーを含有する感光性樹脂組成物において、上記フィラーが形状異方性の磁性フィラーであることを特徴とする磁性フィラー含有感光性樹脂組成物。
Fターム (9件)：
2H025AA02
, 2H025AB13
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025CC08
, 2H025FA01
