特許
J-GLOBAL ID:200903047825227212

圧電変換素子を使用したアクチエータ及びその駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 貞重 和生 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-297885
公開番号(公開出願番号):特開2001-119962
出願日: 1999年10月20日
公開日(公表日): 2001年04月27日
要約:
【要約】【課題】 圧電変換素子の共振を利用して移動部材の移動速度を高め、高い駆動効率が得られると共に低電圧での駆動が可能な圧電変換素子を使用したアクチエータを提供する。【解決手段】 積層型の第1圧電変換素子12と第2圧電変換素子14を中間部材13を介して直列に接合、第1圧電変換素子12の端部に駆動軸15が接着固定され、第2圧電変換素子14の一端はベース11に固定され、駆動軸15には移動部材が摩擦結合する。第1圧電変換素子12の共振周波数は第2圧電変換素子の共振周波数の2倍に設定される。第1圧電変換素子12を共振周波数に略一致した周波数f1 の駆動信号で駆動し、第2圧電変換素子14をその1/2の周波数で駆動する。第1及び第2の圧電変換素子を共振状態で駆動でき、駆動周波数を高くできるので移動部材の移動速度を高め、高い駆動効率が得られる。
請求項(抜粋):
第1の駆動信号により伸縮変位を発生する第1の圧電変換素子と、第2の駆動信号により伸縮変位を発生する第2の圧電変換素子と、前記第1の圧電変換素子の第1の端部に接合された駆動軸と、前記駆動軸に摩擦結合した移動部材と、固定部材とを備え、前記第2の圧電変換素子の第1の端部は前記第1の圧電変換素子の駆動軸側端部と反対側の第2の端部に接合され、第2の圧電変換素子の第2の端部は前記固定部材に接合されており、前記第1の圧電変換素子の共振周波数が前記第2の圧電変換素子の共振周波数の約2倍になるように設定されていることを特徴とする圧電変換素子を使用したアクチエータ。

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