特許
J-GLOBAL ID：200903047827512160
導電性針状構造体及びこれを用いた組立物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241636
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105915
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 高温においても、多数本のプローブピンが精度よく配置され、プローブピンを介して得られる電気信号を信頼性よく得ることのできる導電性針状構造体及びこれを用いた組立物を提供する。【構成】 直径5〜300μm、アスペクト比1〜500の複数の導電性針状体の一部分を、30〜250°Cにおける熱膨張係数(1/°C)が3.0×10-6〜8.0×10-6の低融点ガラスで包埋し、且つ該導電性針状体の少なくとも一端が該低融点ガラスの面から10μm以上突出してなる導電性針状構造体及びこれを用いた組立物である。
請求項（抜粋）：
直径5〜300μm、アスペクト比1〜500の複数の導電性針状体の一部分を、30°C〜250°Cにおける熱膨張係数(1/°C)が3.0×10-6〜8.0×10-6の低融点ガラスで包埋し、且つ該導電性針状体の少なくとも一端が該低融点ガラスの面から10μm以上突出してなることを特徴とする導電性針状構造体。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
