特許

J-GLOBAL ID：200903047829818258

炭酸エステル環状化合物、その製造方法及びそれを用いてなるポジ型フォトレジスト組成物

発明者： 植田 裕治 ,  植木 裕美 ,  竹山 尚幹 ,  楠本 武宏
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005792
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092909
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】 ポジ型の化学増幅型フォトレジスト用の溶解阻止剤として有用な炭酸エステル環状化合物及びそれを用いてなるポジ型フォトレジスト組成物を提供する。【構成】 下式(5)【化1】等で示される炭酸エステル環状化合物、並びに、該炭酸エステル環状化合物、アルカリ可溶性樹脂及び酸発生剤を含有してなるポジ型フォトレジスト組成物。【効果】 解像度、プロファイル及び感度等の諸性能に優れたポジ型フォトレジストが得られる。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R9 は各々独立して水素もしくはハロゲン原子、置換されていてもよい直鎖もしくは分岐状のアルキル又はアルケニル基、t-ブトキシカルボニルオキシ基或いはアセチル基を表わす。但し、R1 〜R4 の中少なくとも1つはt-ブトキシカルボニルオキシ基であり、且つR5 〜R9 の中少なくとも1つはt-ブトキシカルボニルオキシ基である。)で示される炭酸エステル環状化合物。

IPC (5件)：

C07C 69/96 ,  C07C 68/06 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027