プローブ位置制御装置および近接場光学顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323174
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160329
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】試料に近接させて配置されるプローブの先端と試料表面との間隔を、プローブに働くせん断応力に基づき簡便に制御する。【解決手段】光ファイバプローブ10の先端部に第一ピエゾ素子11を備え、振動させつつ試料Sの表面に先端19を近づけていく、金属膜17が蒸着されている光ファイバプローブ先端部から所定位置に配された静電プローブ14と静電容量測定回路15からなる静電容量測定装置16により光ファイバプローブ10と静電プローブ14との間の静電容量を測定し、該静電容量の測定値に基づいて、第二ピエゾ素子13からなる移動手段により試料支持台12をZ方向に移動させてプローブ先端19と試料表面との間隔を制御する。

請求項（抜粋）：

先端部に金属部を有し、先端を試料に近接させて配置されたプローブの先端と前記試料との間隔を制御するプローブ位置制御装置であって、前記プローブを共振周波数で振動させるプローブ振動手段と、前記プローブをその先端が前記試料表面に対して離間もしくは近接する方向に相対移動させる移動手段と、前記プローブの前記金属部との間に所定距離をおいて配された電極手段を有し、該電極手段と前記プローブとの間の静電容量を測定する静電容量測定手段と、前記振動手段により前記プローブを振動せしめた状態の下で前記静電容量測定手段により測定した前記静電容量のうち、前記プローブの振動振幅に依存して変化する静電容量に基づいて前記移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするプローブ位置制御装置。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 A , G01N 37/00 D , G01B 11/30 Z , G01B 21/30

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