フラットパネル検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180559
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009661
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】フラットパネルに用いられる基板の撓みを抑制しつつ欠陥検出位置精度を向上させる。【解決手段】検査装置1は、把持機構8を有するYテーブル4と、位置決めピン9と、ころ搬送部12と、エア浮上ステージ11とを備える。位置決めピン9に当接することにより位置決めされた基板17を把持機構8によって把持し、その状態でYテーブル4を駆動して欠陥検査を行なう。

請求項（抜粋）：

フラットパネルに用いられる基板を検査する装置であって、前記基板の欠陥を検出する欠陥検出部と、前記基板の位置決めを行なう位置決め機構と、位置決め後の前記基板の端部を把持する把持機構を有する1軸テーブルと、前記基板の欠陥検出時に前記基板の下面を全体的に支持する基板支持部と、を備えたフラットパネル検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 , G01B 11/30 , G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 21/89 D , G01B 11/30 C , G01B 21/30 Z

Fターム (36件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065CC25 , 2F065DD00 , 2F065FF01 , 2F065HH15 , 2F065JJ00 , 2F065MM03 , 2F065MM07 , 2F065PP11 , 2F065PP12 , 2F065TT01 , 2F065TT02 , 2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069CC06 , 2F069DD30 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG11 , 2F069HH30 , 2F069MM03 , 2F069MM23 , 2F069PP02 , 2F069PP06 , 2G051AA73 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AC01 , 2G051BA00 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB02 , 2G051CD04 , 2G051DA06

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