圧力センサおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118564
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310575
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】圧力媒体が流通可能な導入路を有するケースに、圧力検出用のセンサ素子部を配設してなる圧力センサにおいて、ケースの導入路に対する位置合わせを不要とするセンサ素子部の配置構成を提供する。【解決手段】凹部2aを有する樹脂製のケース2には、一端側が凹部2a内に開口し且つ他端側が外部に開口するように導入路としての貫通孔2bが形成されている。ケース2の凹部2a内においては、貫通孔2bの一端側の開口部を覆うように多孔質セラミックまたは多孔質樹脂等の通気性を有する多孔質部材であるプレート1がインサートモールドされ、このプレート1上には、圧力センサ素子4がガラス台座5に固定されてなるセンサ素子部6が、接着剤7を介して接着されている。センサ素子部6はプレート1上の任意の位置に搭載しても、プレート1を介して貫通孔2bから外部圧力を受けることができる。

請求項（抜粋）：

外部からの圧力を導入するための導入路(2b)を有するケース(2)と、このケースに配設された圧力検出用のセンサ素子部(6)とを備え、前記圧力を前記導入路から前記センサ素子部へ導入するようにした圧力センサにおいて、通気性を有する多孔質部材(1)が、前記導入路における前記センサ素子部側の開口部を覆うように前記ケースに取り付けられており、前記センサ素子部は、前記多孔質部材に搭載され、前記多孔質部材を介して前記導入路との間に通気性が確保されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14 , H01L 29/84 B

Fターム (18件)：

2F055AA22 , 2F055AA39 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF43 , 2F055GG01 , 2F055GG14 , 2F055GG25 , 2F055HH05 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA15 , 4M112DA18 , 4M112DA20 , 4M112EA14 , 4M112GA01

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