特許
J-GLOBAL ID:200903047852607027

空間干渉型光波反射測定装置及びそれを用いた 光波エコートモグラフィー装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-257706
公開番号(公開出願番号):特開平8-086745
出願日: 1994年09月14日
公開日(公表日): 1996年04月02日
要約:
【要約】【目的】各種異なるコヒーレントな光を光源として、被測定物体内の屈折率の異なる境界面の位置情報を多重干渉による空間的出力パルスの位置の違いとして得る光波反射像測定装置を提供する。【構成】照射光を被測定物体に照射する照射手段と、被測定物体内部からの反射光を干渉計に導く手段と、導かれた反射光を二光路に分割する手段と、分割された二光束を干渉させて空間干渉縞を形成させる干渉手段と、空間干渉縞を検出する一次元光電検出手段と、該一次元光電検出手段上に形成された空間干渉縞の出力パルスの位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める空間干渉型光波反射測定装置。
請求項(抜粋):
照射光を被測定物体に照射する照射手段と、被測定物体内部からの反射光を干渉計に導く手段と、導かれた反射光を二光束に分割する手段と、分割された二光束を干渉させて空間干渉縞を形成させる干渉手段と、空間干渉縞を検出する一次元光電検出手段と、該一次元光電検出手段上に形成された空間干渉縞の出力パルスの位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める手段と、より構成されたことを特徴とする空間干渉型光波反射測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01N 21/17

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