多面反射鏡の製造方法および反射鏡を用いた露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-084498
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286918
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】設計通りの反射面形状を有する多光源形成反射鏡を精度良く製造できる製造方法を提供することを第1の目的にし、更には、よりスループットの高い半導体露光装置を得ることを第2の目的にしている。【解決手段】基本反射面を繰り返し配置してなる多面反射鏡の製造方法であって、少なくとも一面が平面である基材から第1及び第2の側面を第1の曲率半径の部材に切り出す工程と、前記切り出された部材の前記平面を第2の曲率半径に加工する工程と、前記第2の曲率半径に加工された面を研磨する工程と、前記研磨された部材を所定の位置に配置する工程とからなることを特徴とする多面反射鏡の製造方法を提供する。

請求項（抜粋）：

基本反射面を繰り返し配置してなる多面反射鏡の製造方法であって、少なくとも一面が平面である基材から第1及び第2の側面を第1の曲率半径の部材に切り出す工程と、前記切り出された部材の前記平面を第2の曲率半径に加工する工程と、前記第2の曲率半径に加工された面を研磨する工程と、前記研磨された部材を所定の位置に配置する工程とからなることを特徴とする多面反射鏡の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 5/10 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027 , B24B 13/00

FI (6件)：

G02B 5/10 C , G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , B24B 13/00 Z , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 531 A

Fターム (28件)：

2H042DA02 , 2H042DA07 , 2H042DA08 , 2H042DA10 , 2H042DA12 , 2H042DA18 , 2H042DB08 , 2H042DB14 , 2H042DC02 , 2H042DC08 , 2H042DC09 , 2H042DC10 , 2H042DD04 , 2H042DD08 , 2H042DE04 , 2H052BA03 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 3C049AA02 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C049CB03 , 5F046CA03 , 5F046CB02 , 5F046CB25 , 5F046GB01

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