特許
J-GLOBAL ID：200903047859787284
試料保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121711
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315435
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【構成】複数の抵抗率の異なる材質3,4,5で誘電体を形成し独立に電極6,7,8を設け、使用される温度に応じてスイッチ10,11,12を切り替え、しよう温度環境に適した部分で吸着する。【効果】広域の温度範囲において安定した吸着力で試料を保持できる。
請求項（抜粋）：
電極板と誘電体を積層し、前記電極板と被保持物体間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着式試料保持装置において、前記誘電体を複数の抵抗率の異なる材質で形成し、前記該誘電体の保持面と反対側の面に、前記抵抗率の異なる材質の各々に独立に電極を設け、前記電極と前記保持物体との間に独立で電位差を生じさせる電圧発生装置、および電圧を切断,印加するスイッチを設けたことを特徴とする試料保持装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, B65G 49/07
, B65H 5/00
, H01L 21/302
, H02N 13/00
