特許
J-GLOBAL ID：200903047864165623
ボールバンプボンダ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053220
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ワイヤの先端に形成したボールを半導体ペレットに圧着してバンプ電極を形成するボールバンプボンダに関し、バンプ電極の間隔のばらつきをなくしたボールバンプボンダを提供する。【構成】 一端部にキャピラリ5が固定され他端部より超音波振動が付与されるホーン4の中間部を回動軸7回りに往復回動する保持ブロック6に固定しキャピラリ5に挿通されかつ先端にボールを形成したワイヤ14をペレット上に押圧してバンプ電極を形成するとともに、この保持ブロック6の回動を電磁石11にて制動させるボールバンプボンダにおいて、上記ホーン4と電磁石11との間に電磁石が発生する熱の伝達を阻止する伝熱阻止手段17を設ける。
請求項（抜粋）：
一端部にキャピラリが固定され他端部より超音波振動が付与されるホーンの中間部を回動軸回りに往復回動する保持ブロックに固定しキャピラリに挿通されかつ先端にボールを形成したワイヤをペレット上に押圧してバンプ電極を形成するとともに、この保持ブロックの回動を電磁石にて制動させるボールバンプボンダにおいて、上記ホーンと電磁石との間に電磁石が発生する熱の伝達を阻止する伝熱阻止手段を設けたことを特徴とするボールバンプボンダ。
引用特許：
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