特許

J-GLOBAL ID：200903047869028616

圧電アクチュエータの内部電極構造

発明者： 福永 了一 ,  山川 孝宏 ,  渡邉 雅幸
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-061524
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258329
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】 積層アクチュエータ駆動時のクラック発生を抑え、長期駆動時の信頼性が高く、製造時の分極処理による層間剥離が発生することがない積層圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 セラミック層と内部電極とを交互に積層した積層体と、この内部電極と電気的に接続した外部電極を有する圧電アクチュエータにおいて、内部電極を複数層とし、かつ、前記内部電極が複数層からなり、かつ、外縁部の内部電極層がその内縁部の内部電極層よりも粗い格子目の電極パターンにより印刷して形成することにより、前記内部電極の電極密度がセラミック層面上の中心部から外縁部に向かって小さくなるようにする。このようにして、積層アクチュエータ駆動時のクラック発生を抑え、長期駆動時の信頼性が高く、製造時の分極処理による層間剥離が発生することがないようにする。

請求項（抜粋）：

セラミック層と内部電極とを交互に積層した積層体と、この内部電極と電気的に接続した外部電極を有する圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極がセラミック層面上の中心部から外縁部に向かって電極密度が小さくなるように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータの内部電極構造。

IPC (2件)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/187

FI (2件)：

H01L 41/08 Q ,  H01L 41/18 101 D