半導体圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤谷修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351451
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178591
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】半導体圧力センサの小型軽量化, 低コスト化を図り, 低温環境下における信頼性を向上させること。【解決手段】半導体圧力センサ100 は, 圧力を検出し, 電気信号に変換するセンサユニット3,端部2aがセンサユニット3 の出力リード3bと溶接されたターミナル2,上下方向に開口したワク部1d, ワク部1dの内側面よりその中心方向に突出して設けられその上部端面1b上にセンサユニット3 が接着固定された圧力導入パイプ1a, ターミナル2 が設けられたコネクタ部1f, 突出部4bが設けられたカバー4,外部圧力を導入するための圧力導入ポート部5aが設けられたカバー5 等より構成され, センサユニット3 の周囲にはポッティング剤8 が配され, 圧力導入ポート部5aと圧力導入パイプ1aとの間に圧力室9 が形成されている。

請求項（抜粋）：

1つ以上の開口部を有し、内側面から突出して形成された筒状の圧力導入部が設けられたハウジングと、前記圧力導入部の一方の端面上に固設され、半導体センサチップを内蔵し、外部との電気的接続のためのリードを有し、圧力媒体の圧力変化を電気信号に変換するセンサユニットと、前記ハウジングに隣接して設けられ、前記センサユニットと外部との電気的接続のためのターミナルが貫通して設けられ、該ターミナルの一端が前記ハウジング内に突出して前記リードと近接して設けられたコネクタ部と、少なくとも前記センサユニット側の前記開口部を塞ぐ第一のカバーとを備え、前記ターミナルと前記リードとが直接電気的に接続されたことを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14 , H01L 29/84 A

前のページに戻る