特許

J-GLOBAL ID：200903047874303722

表面疵検査装置及びその方法

発明者： 山田 善郎 ,  大重 貴彦 ,  上杉 満昭 ,  的場 有治 ,  猪股 雅一 ,  吉川 省二 ,  河村 努 ,  杉浦 寛幸
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099129
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295240
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を表面ムラに影響されずに確実に検出する。【解決手段】 本発明の表面疵検査装置は、表面にムラを有する被検査面21をこの被検査面に対する入射面に平行な方向に直線偏光された照明光で照射する光源22と、被検査面からの受光角が、ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、照明光の正反射光における照明光の偏光方向と同一方向の偏光成分を受光する第1の受光手段28と、被検査面からの受光角が、ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、照明光の正反射光における照明光の偏光方向と直交する方向の偏光成分を受光する第2の受光手段29と、第1及び第2の受光手段で受光された同一方向及び直交方向の各偏光成分に基づいて被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部31とを備えている。

請求項（抜粋）：

表面にムラを有する被検査面をこの被検査面に対する入射面に平行な方向に直線偏光された照明光で照射する光源と、前記被検査面からの受光角が、前記ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、前記照明光の正反射光における前記照明光の偏光方向と同一方向の偏光成分を受光する第1の受光手段と、前記被検査面からの受光角が、前記ムラの要因物質のブリュースター角に設定され、前記照明光の正反射光における前記照明光の偏光方向と直交する方向の偏光成分を受光する第2の受光手段と、前記第1及び第2の受光手段で受光された同一方向及び直交方向の各偏光成分に基づいて前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備えた表面疵検査装置。