特許
J-GLOBAL ID：200903047885718614
単結晶引上装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301793
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶棒の引き上げを妨げることなく、シリコン単結晶棒のダッシュズネックの破損を防止することができる単結晶引上装置を提供する。【構成】 シリコン融液4を保持する石英坩堝3を回転、昇降自在に設ける。このシリコン融液4から、その半径が略一定のシリコン単結晶棒40を回転させながら引き上げる引上機構6を設ける。この引上機構6と連動しシリコン単結晶棒40を支持する保持機構20を設ける。引上機構6は、シリコン単結晶棒40をその軸線回りに回転させるヘッド7を有し、このヘッド7は、主モータ9および副モータ11を保持している。主モータ9および副モータ11は、それぞれ主ワイヤ8および副ワイヤ10を連結する。主ワイヤ8および副ワイヤ10同士の捩れを防止する捩れ防止リング16を石英坩堝3の上方に設ける。
請求項（抜粋）：
結晶融液を保持する坩堝と、この結晶融液から単結晶棒を回転させながら引き上げるための第1ワイヤと、上記第1ワイヤによる引き上げを補助する第2ワイヤと、上記第1ワイヤおよび第2ワイヤ同士の捩れを防止する捩れ防止体と、を有することを特徴とする単結晶引上装置。
IPC (3件)：
C30B 15/30
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
