特許
J-GLOBAL ID：200903047892951030
複屈折測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083598
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281137
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 偏光子、検光子等の偏光素子の設定に誤差がある場合にも、試料の複屈折を正確に測定することができる複屈折測定装置の提供を目的とする。【構成】 直線偏光を発する光源10と、直線偏光を円偏光に変換する第1のλ/4板20と、試料30を射出した光束を直線偏光に近い楕円偏光に変換する第2のλ/4板40と、イメージセンサ60と、偏光素子を回転させつつ受光手段の出力を検出して光束の偏光状態を測定する測定手段と、試料を配置せずに測定した測定装置固有の偏光状態を記憶する記憶手段と、測定手段の出力から記憶手段の出力を差し引いて試料の複屈折を解析する手段とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
特定の偏光を試料に対して入射させる光源と、該試料を射出した光束の偏光状態を変化させる偏光素子と、該偏光素子を透過した光束を受光する受光手段と、前記偏光素子を回転させつつ前記受光手段の出力を検出して光束の偏光状態を測定する測定手段と、前記試料を配置せずに測定した測定装置固有の偏光状態を記憶する記憶手段と、前記測定手段の出力から前記記憶手段の出力を差し引いて前記試料の複屈折を解析する手段とを有することを特徴とする複屈折測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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