プローブ移動装置およびそれを用いた試料作製装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002630
出願日： 1998年06月15日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】バイモルフ圧電素子の撓みによって発生するバイモルフ型圧電素子102の支点を中心とする円周方向のずれ112を自動的に補正し、微細な操作にも適用できる操作性のよいプローブ移動装置,マイクロピンセット装置を提供する。【解決手段】積層型圧電素子101の伸縮方向にバイモルフ型圧電素子102を配置し、バイモルフ型圧電素子の両面に貼り付けた歪みゲージ素子103と補正回路105とで補正量112を発生し、積層型圧電素子の伸縮により、プローブ先端の移動軌跡が直線的に変位するようにした。

請求項（抜粋）：

板状圧電部材と前記板状圧電部材の一端に積層状圧電部材と、他端に探針を具備することを特徴とするプローブ移動装置。

IPC (2件)：

G01N 1/28 , G01N 1/00 101

FI (2件)：

G01N 1/28 G , G01N 1/00 101 A

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