特許

J-GLOBAL ID：200903047903245540

X線発生装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042553
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237695
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置であり、X線の取り出し方向について、不都合な飛散粒子の付着、堆積を低減して、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器221内の標的部材214に励起エネルギービームを211照射してプラズマ213を形成させ、該プラズマ213からX線212を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材214及び/又は前記プラズマ213から放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記励起エネルギービーム211が通過する開口部Aと前記X線212が通過する別の開口部Bを有する部材であり、前記標的部材214及び/又は前記プラズマ213から放出される飛散粒子を遮蔽する飛散粒子遮蔽部材201を前記標的部材214及びプラズマ213の近傍に設け、かつ、前記X線212を取り出す範囲に相当する立体角領域Tに隣接または近接する飛散粒子阻止部材202を設けたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記励起エネルギービームが通過する開口部と前記X線が通過する別の開口部を有する部材であり、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を遮蔽する飛散粒子遮蔽部材を前記標的部材及びプラズマの近傍に設け、かつ、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接する飛散粒子阻止部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-129198
  
• X線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-046288   出願人：株式会社ニコン
• レーザプラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092829   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭63-292553