特許
J-GLOBAL ID：200903047908021500
真空蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175905
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339718
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 酸素等のガスを均一分布で真空蒸着膜に供給すること。【構成】 蒸発すべき金属を収容するるつぼ、前記るつぼ内に指向する電子ビームを発生させるための電子銃、前記るつぼに対向して設けられた回転ドラム、前記回転ドラムの面に沿ってプラスチック基体を送るための供給及び巻取り手段、前記回転ドラムの面に沿って設けられ一部が前記るつぼに対向した開口を有するマスク、前記マスクを開閉するためのシャッタ部材、及び前記開口から前記ドラムに向けて指向するガスを放出するように配置されたガス供給ノズルよりなる真空蒸着装置において、前記供給ノズルは、対向した壁面によって形成される出口スリットを有し、前記スリットにはその長手方向に所定の間隔で前記対向した壁面の間に差し渡された補強リブを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
蒸発すべき金属を収容するるつぼ、前記るつぼ内に指向する電子ビームを発生させるための電子銃、前記るつぼに対向して設けられた回転ドラム、前記回転ドラムの面に沿ってプラスチック基体を送るための供給及び巻取り手段、前記回転ドラムの面に沿って設けられ一部が前記るつぼに対向した開口を有するマスク、前記マスクを開閉するためのシャッタ部材、及び前記開口から前記ドラムに向けて指向するガスを放出するように配置されたガス供給ノズルよりなる真空蒸着装置において、前記供給ノズルは、対向した壁面によって形成される出口スリットを有し、前記スリットにはその長手方向に所定の間隔で前記対向した壁面の間に差し渡された補強リブを有することを特徴とする真空蒸着装置。
引用特許：
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