特許
J-GLOBAL ID:200903047909958107
光偏向装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐野 静夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-261467
公開番号(公開出願番号):特開2000-089153
出願日: 1998年09月16日
公開日(公表日): 2000年03月31日
要約:
【要約】【課題】本発明は、走査速度、走査振幅が大きく、かつ性能が安定した共振ミラーを有する光偏向装置を提供することを目的とする。また、本発明は、大幅に走査速度を変化させることができる光偏向装置を提供することを目的とする。【解決手段】ばねと、該ばねの一部に固定され該ばねが振動することにより振動する反射ミラーと、該ばねを該ばねの共振周波数近辺で駆動発振させる駆動手段とを備えた光偏向装置において、前記ばねと前記反射ミラーとを含む振動系の固有振動数を制御する制御手段を備えた構成とする。
請求項(抜粋):
ばねと、該ばねの一部に固定され該ばねが振動することにより振動する反射ミラーと、該ばねを該ばねの共振周波数近辺で駆動発振させる駆動手段とを備えた光偏向装置において、前記ばねと前記反射ミラーとを含む振動系の固有振動数を制御する制御手段を備えたことを特徴とする光偏向装置。
Fターム (3件):
2H045AB06
, 2H045AB16
, 2H045AB38
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