特許
J-GLOBAL ID:200903047910516380

振動子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-303069
公開番号(公開出願番号):特開平10-141961
出願日: 1996年11月14日
公開日(公表日): 1998年05月29日
要約:
【要約】【課題】損失の少ない、即ち、Q値の高い、効率の高い振動子を提供する。【解決手段】 振動体3を屈曲部を有する支持梁2a〜2dで固定部1a、1bに支持してなる振動子10において、支持梁2a〜2dの屈曲部に丸みを設けたことを特徴とする振動子。
請求項(抜粋):
振動体を屈曲部を有する支持梁で固定部に支持してなる振動子において、前記支持梁の屈曲部に丸みを設けたことを特徴とする振動子。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

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