特許
J-GLOBAL ID：200903047913042176
表面欠陥検査方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145638
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】被検査材の走行方向に沿って筋状に延びた欠陥の有無を迅速に検出し、かつ、その欠陥レベルを的確に判定することのできる表面欠陥検査方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】走行方向Aに走行する被検査材1表面の被検査領域13を、被検査領域13内の照度が走行方向Aに交わる幅方向Bと比べ走行方向Aに均一な照度で照明する照明器2と、被検査領域13からの反射光13aを受光し被検査領域13の二次元画像の各画素を表す二次元画像データを生成する二次元撮像器3と、二次元撮像器3により得られた二次元画像データを被検査材13の走行方向Aに積算して走行方向積算データを生成するデータ積算手段4と、データ積算手段4により得られた走行方向積算データに含まれる、被検査領域13の幅方向Bの照度むらによって生じたデータの歪みを補正するデータ歪み補正手段5と、データ歪み補正手段5により歪みが補正されたデータから被検査材1の走行方向に沿って筋状に延びた表面欠陥を検出する表面欠陥検出手段6とを備えた。
請求項（抜粋）：
所定の走行方向に走行する被検査材表面の所定の被検査領域を、該被検査領域内の照度が前記走行方向に交わる幅方向と比べ該走行方向に均一な照度で照明し、前記被検査領域からの反射光を二次元撮像器により受光し該被検査領域の二次元画像の各画素を表す二次元画像データを生成し、該二次元撮像器により得られた二次元画像データを前記被検査材の走行方向に積算して走行方向積算データを生成し、生成された走行方向積算データに含まれる、前記被検査領域の幅方向の照度むらによって生じたデータの歪みを補正し、歪みが補正されたデータから前記被検査材の走行方向に沿って筋状に延びた表面欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G06T 7/00
G01N 21/89 B
, G01B 11/30 E
, G06F 15/62 400
