特許
J-GLOBAL ID：200903047916237350
フラットパネルの検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
下市 努
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245299
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110363
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造でプローブユニットを精度良く位置決めでき、ひいては導体ピッチの狭小化,プローブユニットの配置個数増大に対応できるフラットパネルの検査装置を提供する。【構成】 液晶パネルAの表面に所定ピッチでパターン形成された導体の外部接点に、プローブユニット3の上記導体ピッチに対応して配置されたプローブピン7を当接させて上記液晶パネルAの良否を検査するフラットパネルの検査装置1を構成する場合に、該検査装置1の基台2に上記ピッチ方向Xに延びる第1位置決め溝11と、ピッチ方向Xと直交方向Yに延びる第2位置決め溝12とを形成し、上記プローブユニット3の基台対向面に上記第1,第2位置決め溝11,12に対応する第1,第2被位置決め溝13,14を形成する。そしてプローブユニット3の第1,第2被位置決め溝13,14と上記基台2の第1,第2位置決め溝11,12との間に円形ピン15を介在させて位置決めする。
請求項（抜粋）：
多数の回路素子と、該回路素子を所定ピッチで配列された外部接点に導出する導体とを備えたフラットパネルの良否を、上記外部接点に、プローブユニットの上記接点のピッチに対応して配置されたプローブピンを当接させて検査するようにしたフラットパネルの検査装置において、上記プローブユニットを支持する基台に上記ピッチ方向に延びる第1位置決め溝と、上記ピッチ方向と直交する方向に延びる第2位置決め溝とを形成し、上記プローブユニットの基台対向面に上記第1,第2位置決め溝に対応する第1,第2被位置決め溝を形成し、該プローブユニットの第1,第2被位置決め溝と上記基台の第1,第2位置決め溝とのそれぞれの間に円形棒体,又は球体からなる調芯部材を介在させて上記プローブユニットを上記基台に固定したことを特徴とするフラットパネルの検査装置。
IPC (5件)：
G01R 31/02
, G01R 1/073
, G01R 31/00
, G01R 31/26
, H01L 21/66
