特許
J-GLOBAL ID：200903047922146731
レーザトラツプ集塵装置及び集塵方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263615
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100182
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】レチクル、ウエハ並びに照明光学系中の光学素子や投影対物レンズのレンズ面等に付着したゴミやホコリを迅速に除去する。【構成】レーザビームによる光トラッピング技術を応用した。レーザ光源手段と、該レーザ光源手段からの光を集光するための集光手段と、被検面上にて集光光を走査するための走査手段と、被検面上での集光光からの反射光を検出する光検出手段と、光検出手段からの信号により異物であることを判別する判別手段と、該判別手段の信号に応じてレーザ光源手段からのレーザ光出力を制御する制御手段とを有する。異物の存在の判別に応じてレーザ光源手段からの出力を制御し、より高エネルギーのレーザ光により異物をトラップして移動させる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源手段と、該レーザ光源手段からの光を集光するための集光手段と、被検面上にて集光光を走査するための走査手段と、該被検面上での集光光からの反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段からの信号により異物であることを判別する判別手段と、該判別手段の信号に応じて前記レーザ光源手段からのレーザ光出力を制御する制御手段とを有することを特徴とするレーザトラップ集塵装置。
IPC (3件)：
G02B 27/00
, H01L 21/027
, H01S 3/00
