感光性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-270877
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128850
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】従来の光カチオン重合組成物の欠点(感光性平版印刷版の感光層やフォトレジスト等に適用したとき、いずれも、感度、耐薬品性(フォトレジストのエッチングあるいは平版印刷時の)及び機械的強度が不充分である)を改善し、高感度で、かつ耐薬品性及び機械的強度に優れる感光性組成物を提供する。【構成】 ?@有機溶剤に分散可能なマイクロゲル、ビニルエーテル基又はプロペニルエーテル基を有する化合物、及び光酸発生剤を含有する感光性組成物。?A表面にビニルエーテル基及びプロペニルエーテル基から選ばれる少なくとも1つ、及びオキシラン、チイラン、オキセタン及びチエタンから選ばれる少なくとも1つの環を有するマイクロゲルを含有する感光性組成物。

請求項（抜粋）：

有機溶剤に分散可能なマイクロゲル、ビニルエーテル基又はプロペニルエーテル基を有する化合物及び光酸発生剤を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 502 , B01J 13/00 , B01J 13/02 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 503 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (2件)：

B01J 13/02 L , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-173455
特公昭43-027561
特開平3-068950

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