特許
J-GLOBAL ID：200903047937891670
窒化物結晶の製造方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164811
公開番号（公開出願番号）：特開平10-007496
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】これまで得られなかったGaN等、III 族元素窒化物の大形バルク単結晶を容易に成長できるようにする。【解決手段】石英容器1内にIII 族原料を入れて、これを加熱ヒータ2で加熱して融解する。融解したIII 族原料融液3にガス導入配管4を通して窒素原子を含有するアンモニアガスなどの物質を供給反応させて、III 族原料融液3中にその窒化物を溶解させる。この供給反応を継続しつつIII 族原料融液3を冷却して窒化物結晶を析出させる。これらの溶解工程と析出工程を交互に繰り返して大形の窒化物結晶を得る。
請求項（抜粋）：
III 族原料を加熱、融解し、これに窒素原子を含有する物質を供給反応させて、III 族原料融液中にその窒化物を溶解させる工程と、上記反応を継続しつつIII 族原料融液を冷却して窒化物結晶を析出させる工程とを交互に繰り返すことを特徴とする窒化物結晶の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/38
, C30B 9/06
, H01L 21/208
, H01L 33/00
C30B 29/38 Z
, C30B 9/06
, H01L 21/208 Z
, H01L 33/00 C
