特許
J-GLOBAL ID：200903047951565174
ウェーハ欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284296
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111484
出願日： 1998年10月06日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ表面における欠陥や異常を人手によって行っていたのと同程度の簡便さと高速性をもって行うことができ、しかも、検査精度を長時間安定して発揮することができるウェーハ欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 検査ステージ1に保持されたウェーハ2の検査対象面2aに対して可視光4を斜め上方から照射し、この照射によって生じた光9を、特定波長範囲のみを通過させる光学フィルタ20〜22を介して二次元光検出器17〜19に入射させ、これらの二次元光検出器17〜19の出力をデータ処理装置23に入力し、このデータ処理装置23において、ウェーハ2に可視光4を照射したときにおける色の変化を観察し、この観察結果に基づいてウェーハ2における欠陥の有無を検査するようにした。
請求項（抜粋）：
検査ステージに保持されたウェーハの検査対象面に対して可視光を斜め上方から照射する光源と、この光源による検査対象面への可視光の照射によって生じた光を収斂させる集光レンズと、この集光レンズを経た光を分岐する複数のビームスプリッタと、これらのビームスプリッタを経た光が結像面において結ばれるように配置される複数の二次元光検出器と、これらの二次元光検出器のそれぞれ前段に特定の波長の光のみを通過させる光学フィルタと、前記二次元光検出器の出力が入力されるデータ処理装置とを備え、このデータ処理装置において、ウェーハに可視光を照射したときにおける色の変化を観察し、この観察結果に基づいてウェーハにおける欠陥の有無を検査するようにしたことを特徴とすることを特徴とするウェーハ欠陥検査装置。
Fターム (20件)：
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051AC21
, 2G051BA08
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051DA07
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051GC04
, 2G051GD02
, 2G051GD05
, 2G051GD09
