特許
J-GLOBAL ID：200903047959102173
光学式変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145625
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 受光面での総受光量の減少によるSN比の低下を最小限に抑え、波長変化の影響を受けることなく高精度な測定を行うことが可能な光学式変位測定装置を提供する。【構成】 受光手段9に検出される総受光量が略一定となるように光源出力制御手段7を用いて光源1の出力を制御し、出射光の対物レンズ5による測定面6への照射角度の変化を照射角度変化検出手段29を用いて検出することによって、出射光の波長変化による測定面6上での集光点の位置変化を補正するようにした。
請求項（抜粋）：
光源からの出射光をコリメートレンズにより平行光とし、この平行光を集光手段により集光して測定面に照射し、その測定面からの反射光を光束分離手段により前記出射光と分離して焦点ずれ検出光学系内に導き、この光学系内に導かれた前記反射光を受光手段に検出させることにより、前記測定面の表面形状を測定する光学式変位測定装置において、前記受光手段に検出される全受光量が略一定となるように前記光源の出力を制御する光源出力制御手段と、前記出射光の前記対物レンズによる前記測定面への照射角度の変化を検出する照射角度変化検出手段とを備えたことを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G01B 11/30
