パルスレーザー光誘起電荷流による常圧下固体表面物質解析法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183174
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285774
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】本発明は、常圧下固体表面物質の組成状態の変化変動を比較的容易にかつ迅速に検知するための電気的信号を取り出すためのものである.【構成】対象固体物、集電極、遮蔽、パルスレーザー光源、光量調節器を下図のように配置し、集電極に電流電圧変換器、電圧増幅器、オシロスコープ(必要な場合プラス小型コンピュータ)の順に接続する.

請求項（抜粋）：

常圧(ここでは10気圧ないし10-3気圧の圧力範囲をいう)の気体中にある固体材料表面にレーザー等による高エネルギー密度(ここではパルス当たり10-6J/cm2ないし1J/cm2をいう)の光パルスを照射し、照射部位近傍に集電極を置き、これに誘起される電荷流又はその積分量を測定することを特徴とする表面物質の状態組成を解析評価する方法.

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