EL素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274431
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115666
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】アルカリ土類金属硫化物またはアルカリ土類金属セレン化物を発光層の母体材料とするEL素子の製造において、発光層成膜後においても洗浄を行えるようにする。【解決手段】アルカリ土類金属硫化物(CaS、SrS、BaS)またはアルカリ土類セレン化物(CaSe、SrSe、BaSe)を母体材料とする発光層を形成した後、図に示す各洗浄工程において、シリコーンオイルを用いた洗浄を行う。

請求項（抜粋）：

基板(11)上に、下部電極(12)、下部絶縁層(13)、発光層(14)、上部絶縁層(15)および上部電極(16)を積層形成してなり、アルカリ土類金属硫化物又はアルカリ土類セレン化物を前記発光層(14)の発光母材とするEL素子の製造方法であって、前記発光層(14)形成後の洗浄工程において、シリコーンオイルを用いた洗浄を行うことを特徴とするEL素子の製造方法。

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