特許
J-GLOBAL ID:200903047976837772

パルスレーザの電源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 春日 讓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-049296
公開番号(公開出願番号):特開平6-268293
出願日: 1993年03月10日
公開日(公表日): 1994年09月22日
要約:
【要約】【目的】パルスレーザの電源装置において、フラッシュランプのインピーダンスに応じて安定したシマー電流を流すためのシマー電圧を個々のフラッシュランプ毎に設定することができ、安定したレーザ発振を行うことができるようにする。【構成】レーザ光発生に先立つシマー電圧設定動作において、シマー電圧設定部26の指令に基づきシマー回路5を介してフラッシュランプ7へシマー電圧設定値VSが印加される。次にトリガ回路6でフラッシュランプ7に電場がかけられ、その際シマー電流が流れたか否かが電流検出部19で判定される。シマー電圧設定値VSは、ROM22に格納されたフローに沿ってCPU23によりVMINからVMAXの範囲で増加させられ、電流検出部19でシマー電流が流れ始めたと判定された時の電圧が最適なシマー電圧としてRAM21に記憶される。
請求項(抜粋):
シマー回路によりフラッシュランプにシマー電圧を印加して予めシマー電流を流し、さらにこのフラッシュランプにパルスエネルギを供給して発光させ、励起素子を励起してパルス状にレーザ光を発生させるパルスレーザの電源装置において、前記フラッシュランプのインピーダンスに応じて安定したシマー電流を流すためのシマー電圧を設定するシマー電圧設定手段を有することを特徴とするパルスレーザの電源装置。

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