特許
J-GLOBAL ID：200903047987621410

電気光学装置または半導体装置の製造方法

発明者：
世良 博

世良 博 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-243332
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055338
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示装置の反射層又は回路配線に光反射率が高く、比抵抗の低い銀薄膜を使用し、表示画面の画質を向上させる。また、半導体装置の電極又は回路配線に比抵抗の低い銀薄膜を使用し、信号伝達速度を向上させると共に発熱を抑え、消費電力の低減をはかる。【解決手段】 所定の位置に銀薄膜を形成した後、ヨウ素化合物の蒸気を使用して147°C以上の温度で該銀薄膜をドライエッチングして必要な銀パターンを得る。ヨウ素化合物としてはヨウ化水素、ヨウ化メチル、ヨウ化エチル等のヨウ素の炭水化物が使用できる。この方法によればパターンの精度が高く、下層にダメッジを与えることもなく、効率良く銀パターンが得られ、プロセスのドライ化を推進することができる。
請求項（抜粋）：
一対の基板間に液晶を保持し、各基板の対向する面にはそれぞれ電極が形成されており、そのうち少なくとも一方の基板の電極と基板の間に銀(Ag)薄膜からなる反射層が形成された電気光学装置の製造方法であって、銀薄膜形成後該銀薄膜をヨウ素(I)化合物の蒸気を用いてドライエッチングして、所定の形状の銀反射層パターンを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
IPC (10件)：
G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (12件)：
G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/30 349 D ,  H01L 21/88 D ,  H01L 21/88 M ,  H01L 27/10 621 B ,  H01L 27/10 681 C ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 617 J
Fターム (129件)：
2H091FA02Y ,  2H091FA14Z ,  2H091FA41Z ,  2H091GA02 ,  2H091LA30 ,  2H092HA05 ,  2H092JA01 ,  2H092JA24 ,  2H092JA41 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA10 ,  2H092MA07 ,  2H092MA12 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA26 ,  2H092PA08 ,  2H092PA12 ,  2H092PA13 ,  5C094AA05 ,  5C094AA10 ,  5C094AA24 ,  5C094AA43 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA06 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH04 ,  5F033HH14 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033PP20 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ83 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15 ,  5F033VV16 ,  5F033XX00 ,  5F033XX10 ,  5F083AD42 ,  5F083GA27 ,  5F083JA31 ,  5F083JA32 ,  5F083JA56 ,  5F083PR03 ,  5F083PR22 ,  5F083PR36 ,  5F110AA03 ,  5F110AA09 ,  5F110BB02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HL02 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ11 ,  5G435AA03 ,  5G435AA16 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435BB15 ,  5G435BB16 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435EE25 ,  5G435FF03 ,  5G435FF13 ,  5G435GG12 ,  5G435HH01 ,  5G435HH12 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05
引用特許：
審査官引用 (6件)
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