特許

J-GLOBAL ID：200903047995051640

緻密コーディエライト質セラミックス及びその製造方法

発明者： 栗原 祥晃 ,  川合 潔
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125543
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321969
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 金属に比べ剛性が高く、かつ熱膨張係数が小さく、気孔率が5%以下の緻密コーディエライト質セラミックス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト93〜99.99重量%及び窒化珪素0.01〜7重量%を含有し、かつ気孔率が5%以下である緻密コーディエライト質セラミックス及び一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト粉末93〜99.99重量%及び窒化珪素粉末0.01〜7重量%を混合、成形した後、1270〜1440°Cの温度で焼成することを特徴とする気孔率が5%以下の緻密コーディエライト質セラミックスの製造方法。

請求項（抜粋）：

一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト93〜99.99重量%及び窒化珪素0.01〜7重量%を含有し、かつ気孔率が5%以下である緻密コーディエライト質セラミックス。

IPC (2件)：

C04B 35/195 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

C04B 35/16 A ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (11件)：

4G030AA07 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA52 ,  4G030BA24 ,  4G030GA24 ,  4G030GA27 ,  4G030HA18 ,  5F046CC08 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭59-174572