特許
J-GLOBAL ID：200903047997336412

洗浄液の再生処理方法及び再生処理装置

発明者：
中村 彰信

中村 彰信 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002313
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200767
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液に含まれているイオンや微粒子等の不純物をまとめて、かつ効率良く除去する。【解決手段】 被洗浄物を洗浄後の、イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を含む洗浄液101を貯留する工程と、洗浄液101に気泡104を発生させる工程と、洗浄液101中に発生した気泡104にイオン化した不純物及びイオン化していない不純物を選択的に吸着させる工程と、気泡104に吸着した不純物を除去し、清浄な洗浄液に再生する工程とを有する。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を洗浄後の、イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を含む洗浄液を貯留する工程と、前記洗浄液に気泡を発生させる工程と、前記洗浄液中に発生した気泡に前記イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を選択的に吸着させる工程と、前記気泡に吸着した不純物を除去し、清浄な洗浄液に再生する工程とを有することを特徴とする洗浄液の再生処理方法。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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