特許
J-GLOBAL ID：200903047997555181
イオン加速装置
ギュンター コルンフェルト
, ギュンター コルンフェルト について
グレゴリー クストゥー
, グレゴリー クストゥー について
ノルベルト コッホ
ノルベルト コッホ について
出願人/特許権者：
ターレス エレクトロン デバイス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
ターレス エレクトロン デバイス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 , 山崎 利臣 , 久野 琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト , ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-565974
公開番号（公開出願番号）：特表2006-513537
出願日： 2003年12月13日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
磁界の主として長手方向の磁力線経過特性と主として横方向の磁力線経過特性とを交互に有する特別な磁界構造を備えたイオン加速装置のために、室壁の、磁界の磁力線経過特性に適合された非円筒状の形状を備えたイオン化室のジオメトリが提案される。
請求項（抜粋）：
イオン化室と電極装置と磁石装置とを備えたイオン加速装置であって、
-イオン化室が長手方向にイオンの出射開口を有していて、長手方向に対して直交する横方向で少なくとも1つの側壁により仕切られており、出射開口から間隔を置いて配置された供給開口を介してイオン化室内に作業ガスが導入可能であり、
-電極装置が少なくとも1つのカソードとアノードとを有していて、イオン化室内で、正に帯電された作業ガスイオンを出射開口の方向に加速させるための電界を発生させるようになっており、
-磁石装置がイオン化室内に、長手方向で、該長手方向に対してほぼ平行な磁界方向を有する少なくとも1つの第2の種類の長手方向区分と、該第2の種類の長手方向区分に隣接し、しかも長手方向に対して直角な磁界成分の、第2の種類の長手方向区分に比べて高い含量を有する第1の種類の長手方向区分とを有する磁界を発生させるようになっており、
-互いに向かい合って位置する壁面の間の壁間隔が、第2の種類の長手方向区分において、第1の種類の長手方向区分におけるよりも小さく形成されている
形式のものにおいて、
第2の種類の長手方向区分において、長手方向に延びる壁形状が、イオン化室に向かって単調に曲げられた湾曲を有している
ことを特徴とするイオン加速装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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