高精度時間標準された極短レーザーパルス距離計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277240
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】レーザー装置の光共振器の光閉回路長、或いは共振器と類似構造のミラー群位置回路距離を、近赤外モードロック極短パルスレーザー波長の十分の一から数十分の一以下の精度で計測する高精度距離計測装置に関する。【解決手段】計測対象とする光共振器あるいは共振器類似ミラー光閉回路等を構成する、あるミラー表面から全光回路を構成するその他のミラー群の表面によって決定される光閉回路の長さを、フェムト秒レーザーの繰り返し周波数を可変にして、繰り返し周波数に対応する長さと回路長に一致するかを、外部結合するレーザー光強度をモニターすることによって、直接比較し、計測する事が可能で、間接的な接触計測は全く不要である。また、構造物のある特定位置間の距離を計測するのにこの方法を用いる場合でも同様の精度でこの構造物上の位置とミラー面間の3次元距離を計測する。

請求項（抜粋）：

光共振器等の2枚及び3枚並びに任意の複数枚のミラーによって閉じた光の回路を構成する回路長(以下、ミラー間回路長と略称)を計測し、、又は任意の大きさの構造物等の特定の2点及び3点並びに任意の複数点の位置間距離の長さを計測する方法において、現在10数桁が可能で、最もダイナミックレンジが広く、精度の最も高い、時間乃至周波数標準を用いた、高精度の外部時間標準とサブピコ秒以下のジッター誤差で同期を正確に取った、きわめて短いフェムト秒領域の時間幅の光パルスレーザー装置からのレーザーパルス光を、この光の閉回路に外部から入射して閉じこめ、この時間標準乃至はこれを1次標準とする2次的時間標準で制御されるレーザーパルス繰り返し周波数を変化させて、この回路長とレーザーパルス繰り返し周波数との一致或いは違いを、閉回路内部から外部結合する光信号の重なり合う強度の最大値を計測することによって評価し、ミラー間回路長を計測すること、及び予め十分な精度で3次元測長された測定目的位置と、その計測目的位置周辺に配置された、光閉回路を構成するミラーの取り付け位置関係を用いて、ミラー間回路長の測定値から測定目的位置数値情報を得ることを特徴とする高精度時間標準された極短レーザーパルス距離計測装置。

IPC (4件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00 , G01S 7/48 , G01S 17/08

FI (4件)：

G01C 3/06 Z , G01B 11/00 B , G01S 7/48 A , G01S 17/08

Fターム (47件)：

2F065AA06 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF12 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065HH13 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065NN08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065SS13 , 2F065UU03 , 2F065UU07 , 2F112AD01 , 2F112BA05 , 2F112BA06 , 2F112CA06 , 2F112DA25 , 2F112DA32 , 2F112EA03 , 2F112FA01 , 2F112GA10 , 5J084AA05 , 5J084AB17 , 5J084AD08 , 5J084BA03 , 5J084BA32 , 5J084BA45 , 5J084BA47 , 5J084BA56 , 5J084BB14 , 5J084BB24 , 5J084CA03 , 5J084CA10 , 5J084CA12 , 5J084CA23 , 5J084CA34 , 5J084DA01 , 5J084DA07 , 5J084EA04 , 5J084EA05 , 5J084FA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-299702
特開平3-140807

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