特許

J-GLOBAL ID：200903048001059287

単結晶保持装置

発明者： 木村 雅規
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191048
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007490
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高重量化する単結晶引上げ操作中に結晶が破断して落下することのなく、かつ結晶を保持する部材が破損することがない単結晶保持装置を提供する。【解決手段】 原料融液に接触せしめた種結晶を回転させつつ引上げて単結晶を成長させる過程において、前記種結晶と単結晶の直胴部との間に存在する凹凸部7を一対の吊り治具17の挟持部18で保持するようにした単結晶保持装置において、前記吊り治具の挟持部の先端に、水平軸19まわりに揺動または回転可能なアタッチメント部材8が設けられ、該アタッチメント部材の少なくとも表面が単結晶の凹凸部表面と直接接触する緩衝材である単結晶保持装置。

請求項（抜粋）：

原料融液に接触せしめた種結晶を回転させつつ引上げて単結晶を成長させる過程において、前記種結晶と単結晶の直胴部との間に存在する凹凸部を一対の吊り治具の挟持部で保持するようにした単結晶保持装置において、前記吊り治具の挟持部の先端に、水平軸まわりに揺動または回転可能なアタッチメント部材が設けられ、該アタッチメント部材の少なくとも表面が単結晶の凹凸部表面と直接接触する緩衝材であることを特徴とする単結晶保持装置。

IPC (2件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 F

Fターム (5件)：

4G050FG01 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF00 ,  4G077EG11