パッケージ化歪みアクチュエータ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-520191
公開番号（公開出願番号）：特表平9-511100
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】カードを形成するように電極化シートに接合された電気的能動材料(71,73)の1つ又は複数のプレート又は素子を含むモジュラーアクチュエータ組立体。このカードは、密封されており、それ自体が、固体に直接接触させるための、又は流体内に浸漬させるためのベーン、シェーカー、撹拌機、レバー、押し器又は超音波分解機を構成することができる。あるいは、このカードを剛性の接着剤で接合し、前記プレートの表面を前記シートを介して固体工作物、デバイス、基材、機械、サンプル又はその他の物品に機械的にカップリングすることができる。そのような積層組立体は、前記プレートを支持し、薄いプレートが破断点まで変形しないように曲げ剛性を提供し、剪断力が該プレートから工作物へ効率的にカップリングされるように機械的剛性を提供する。更に別の実施形態として、このカードは、外部電源への接続をほとんど、あるいは、全く必要としないように、信号を切換え、付勢し、処理するための能動回路素子、及び、又は、信号を濾波し、整合し又は減衰させるための受動回路素子を含むものとすることができる。

請求項（抜粋）：

各々、フィルムのシートと、該フィルムの少くとも一方の側の表面に電極を有する、少くとも第1及び第2フレックス回路を含む複数のフレックス回路と、該第1フレックス回路と第2フレックス回路の間に凹部を形成する手段と、該凹部内に配設され、該フレックス回路に機械的及び電気的にカップリングされた表面を有する電気的能動素子と、から成る電気的能動デバイス。

IPC (5件)：

H01L 41/09 , G01L 1/16 , H01L 41/22 , H02N 2/00 , H03H 9/17

FI (5件)：

H01L 41/08 C , G01L 1/16 , H02N 2/00 B , H03H 9/17 Z , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-144565
特開昭54-147826
特開昭62-080925

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