特許
J-GLOBAL ID:200903048001572863

研磨テープ及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新井 清子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-262966
公開番号(公開出願番号):特開平7-096468
出願日: 1993年09月27日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 研磨斑の無い、しかも研磨性能の高い研磨を行なうことのできる研磨テープ、及びその製造方法を提供する。【構成】 研磨層を転写層によって形成した後、該転写層からなる研磨層の表面にエッチング処理を付すことにより、研磨層の表面のバインダー用樹脂を除去し、研磨層の表面に存在する砥粒をバインダー用樹脂から露呈させた研磨テープ、及びその製造方法。
請求項(抜粋):
バインダー用樹脂に砥粒を分散させてなる研磨層を有する研磨テープにおいて、前記研磨層が転写層からなり、かつ、研磨層の表面に存在する砥粒がバインダー用樹脂から露呈していることを特徴とする研磨テープ。

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