特許

J-GLOBAL ID：200903048011080365

TABテープの検査装置および検査方法ならびに実装TABテープの製造方法および製造装置

発明者： 中井 康博 ,  武田 修三 ,  長山 孝
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-203084
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092692
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 TABテープの欠点を、1検査ステージで精度よく行うことができ、表裏両面について検査でき、しかも安定した高精度の判別処理が可能な、TABテープの検査装置、方法、さらには実装TABテープの製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 TABテープを搬送する手段と、装置の基準位置とTABテープ回路パターン相互の位置決め手段と、TABテープの表側に配置した照明手段と、該照明手段により照明される面と同じテープ面の画像を採取する画像採取手段と、該画像を処理して欠点の有無を判別する判別処理手段を有するTABテープ検査装置であって、処理画像が青色画像、緑色画像、両者よりなる色画像であることを特徴とする、TABテープの検査装置。

請求項（抜粋）：

TABテープを搬送する手段と、装置の基準位置とTABテープ回路パターン相互の位置決め手段と、TABテープの表側に配置した照明手段と、該照明手段により照明される面と同じテープ面の画像を採取する画像採取手段と、該画像を処理して欠点の有無を判別する判別処理手段を有するTABテープ検査装置であって、処理画像が青色画像、緑色画像、両者よりなる色画像であることを特徴とする、TABテープの検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

H01L 21/60 311 W ,  G01N 21/89 A