特許
J-GLOBAL ID：200903048023174519
IC解析装置用プロービング・ナビゲーションの方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054929
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240446
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 EBテスタなどの解析装置でのLSIチップ内部の動作検証や不良解析において、観測するための最適プロービング領域の存在を容易に見いだせるナビゲーションツールによって、効率よいナビゲーション方法を実現する。【構成】 最適なプロービング領域がどこに存在するかについて容易に探査できるようにするために標準ファイル3による回路設計用レイアウトCAD データに加えて、LSI設計者などの解析装置のユーザが、LSIチップ内部の動作検証や不良解析には最適なプロービング領域として定義したレイアウトCAD データである、プローブレイヤファイル2を取り込んで提供し、ナビゲーションツールとして併用できるフォーマットと表示仕様とし、目的とする観測のためのプロービング領域に短時間に到達できるナビゲーションの方法を構成する。
請求項（抜粋）：
IC解析装置でのLSIチップ内部の動作検証や不良解析を行う際のプロービング領域を見い出すナビゲーション方法において、優先順位ごとのプローブ座標リスト(1)のCADデータを、プローブレイヤファイル(2)に取り込み、表示変換手段(9)において、当該CADデータと、標準ファイル(3)による回路設計用レイアウトCADデータとを合成し、当該合成レイアウトCADデータを、表示画面として、メインウインドウ(5)に表示し、以上を特徴とするIC解析装置用プロービング・ナビゲーションの方法。
IPC (2件)：
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