特許
J-GLOBAL ID:200903048023989237

固体撮像装置およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮井 暎夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-326649
公開番号(公開出願番号):特開平6-174914
出願日: 1992年12月07日
公開日(公表日): 1994年06月24日
要約:
【要約】【目的】 紫外線などの光線による光学特性の劣化を低減し固体撮像装置の信頼性向上と製品寿命の延長を図る。【構成】 固体撮像素子1中の凹型フォトダイオード2の上部にゲル状ガラス材料で形成された可視光透過率の高いSiO2 透明平坦膜3を設け、さらにSiO2 透明平坦膜3の上部に同じく可視光透過率の高いゲル状ガラス材料を用いて半楕円形SiO2 マイクロレンズ4を設けている。
請求項(抜粋):
凹型受光部を有する固体撮像素子の上面に無機透明平坦膜を設け、前記無機透明平坦膜の上面で前記凹型受光部に対応する位置に凸型半楕円形集光無機マイクロレンズを設けた固体撮像装置。
IPC (2件):
G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 特開平4-073968
  • 特開平4-001602
  • 特開昭58-224310
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